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    139-2342-9552
    
  
        

        


        
  

        
  
  
        
        
    
        
      
        6寸半自動(dòng)劃片機(jī)
        
      
        
    
        
      
        


        
  
        
    
    
    
    
        
      
        BT3252 精密砂輪劃片機(jī) 
        
      
        高效率高精度高性能
        
      
        BT3252 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽(yáng)能電池、電子基片等的劃切，適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過(guò)空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn)，將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開槽。 



        
      
        
        139-2342-9552
        獲取定制化方案
              
        
    
        
  
        

        

        
  
        產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例
        
  
        
    
        產(chǎn)品介紹
        
    
        應(yīng)用：
        6寸硅片、陶瓷、PCB板、EMC、石英、玻璃、砷化鎵、鈮酸鋰、碲鋅鎘CZT等材料的精密切割；廣泛用于IC集成電路，LED砷化鎵芯片、二極管、三極管、LED封裝、NTC、MEMS、IC、光伏、醫(yī)療器械、閃爍晶體等行業(yè)。
        其他特征：
        低氣壓、水壓、工作臺(tái)伺服、轉(zhuǎn)臺(tái)伺服、主軸驅(qū)動(dòng)、測(cè)高系統(tǒng)、控制系統(tǒng)的故障報(bào)警，操作腔門安全鎖，漏水檢測(cè)、主軸電流監(jiān)控、真空不足保護(hù)功能。


        
  
        
  
        
    
        產(chǎn)品參數(shù)
        
    
        項(xiàng)目
        產(chǎn)品型號(hào)
        BT3252 精密砂輪劃片機(jī)

        加工尺寸(Processing size)
        ≤150mm
        運(yùn)動(dòng)方式(Movement style)
        單軸半自動(dòng)
        X軸(X-axis)
        最大速度(Max speed)
        600mm/s
        直線度(Straightness)
        2μm全行程
         
        Y軸(Y-axis)
        有效行程(Valid trip)
        150mm
        定位精度(Positioning accuracy)
        2μm全行程
        分辨率(Resolution)
        0.1μm
        Z軸(Z-axis)
        有效行程(Valid trip)
        35mm
        最大刀輪直徑(Max tool wheel diameter)
        60mm
        T軸(T-axis)
        轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍(Rotation angle range)
        380°
        主軸(Spindle)
        最大轉(zhuǎn)速(Max speed)
        40000rpm/min
        額定輸出功率(Rated output power)
        直流/交流1.5KW
         
         
        基礎(chǔ)規(guī)格
        (Basic specifications)
        電源(Power supply)
        220V/50Hz
        壓縮空氣(Compressed air)
        0.5-0.6Mpa Max 180L/min
        切削水(Cutting water)
        0.2-0.3Mpa Max 4L/min
        排風(fēng)流量(Exhaust air volume)
        2m3/min
        尺寸(Size)
        660mm×1108mm×1680mm
        重量(Weight)
        600KG


        
  
        

        

        
  
        
    
        樣品案例
        
    
  
        

        

        
  
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