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        雙軸全自動(dòng)劃片機(jī)

        BT6366 精密砂輪劃片機(jī)

        高效率高精度高性能

        BT6366 精密砂輪劃片機(jī)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切,適用于包括硅、石英、 氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰、藍(lán)寶石和玻璃等材料。其工作原理是通過空氣靜壓主軸帶動(dòng)金剛石砂輪劃切刀具高速旋轉(zhuǎn),將晶圓或器件沿切割道方向進(jìn)行切割或開槽。 機(jī)型實(shí)現(xiàn)了晶圓從裝片、對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗到卸片的自動(dòng)化操作。該機(jī)型配置了大功率對(duì)向式雙主軸,Z1和Z2軸上都配置了NCS和專用顯微鏡,大幅度減少對(duì)準(zhǔn)和檢查時(shí)間,從而降低人工成本、提高生產(chǎn)效率。

        139-2342-9552 獲取定制化方案

        產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

        產(chǎn)品介紹

        在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益追求精度、效率和自動(dòng)化的今天,一臺(tái)高性能、高穩(wěn)定性的劃片設(shè)備,不僅決定了產(chǎn)線的良率,也關(guān)系到整條供應(yīng)鏈的運(yùn)行成本。BT6366 精密砂輪劃片機(jī),正是為這一挑戰(zhàn)而生的專業(yè)級(jí)解決方案,全面覆蓋從晶圓裝片到成品卸片的每一個(gè)精密環(huán)節(jié)。


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        一機(jī)多能,滿足多種高精度切割需求

        BT6366 被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、IC封裝(如QFN、DFN、BGA)、miniLED、太陽能電池片、電子基片、光學(xué)玻璃等行業(yè)的微細(xì)劃切任務(wù),尤其擅長(zhǎng)對(duì)如下材料的穩(wěn)定加工:

        * 硅(Silicon)
        * 石英(Quartz)
        * 氧化鋁 / 氧化鐵
        * 藍(lán)寶石
        * 砷化鎵(GaAs)
        * 鈮酸鋰(LiNbO?)
        * 光電玻璃、陶瓷等脆性材料

        在高精度、高一致性、高產(chǎn)能的三重標(biāo)準(zhǔn)下,BT6366 憑借強(qiáng)大的核心配置和自動(dòng)化設(shè)計(jì),已成為國內(nèi)外客戶信賴的核心設(shè)備。

        核心優(yōu)勢(shì):重新定義切割效率與精度

        ? 全流程自動(dòng)化,提高效率、減少人力

        從裝片、視覺對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗再到卸片,BT6366 實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化作業(yè),極大地降低人工干預(yù)。搭配智能程序控制系統(tǒng),支持批量任務(wù)快速切換,優(yōu)化整線生產(chǎn)節(jié)奏。

        ? 高性能對(duì)向雙主軸結(jié)構(gòu),提升產(chǎn)能與壽命

        采用Z1/Z2 雙主軸對(duì)向配置,每個(gè)主軸均為高功率空氣靜壓驅(qū)動(dòng),具備更強(qiáng)負(fù)載與更小振動(dòng),有效延長(zhǎng)刀具壽命并提高切割穩(wěn)定性。

        ? 配置NCS接觸檢測(cè)+高精度顯微鏡

        每個(gè)主軸上配置有NCS自動(dòng)接觸檢測(cè)系統(tǒng)與專用顯微鏡視覺系統(tǒng),大幅降低人工校準(zhǔn)時(shí)間,提升對(duì)準(zhǔn)精度,避免微米級(jí)誤差造成的不良率。

        ? 多材料適配能力,滿足復(fù)雜需求

        從8英寸至12英寸晶圓,到各種定制化封裝材料,BT6366 都能靈活適應(yīng),不再為材料切換頻繁而煩惱,是一機(jī)多用、降低設(shè)備投資成本的利器。

        應(yīng)用行業(yè)廣泛,覆蓋從芯片到終端的關(guān)鍵工藝

        BT6366 在多個(gè)高精度加工行業(yè)中表現(xiàn)優(yōu)異,是眾多半導(dǎo)體封測(cè)廠、光電組件廠、LED封裝廠、陶瓷加工廠的首選設(shè)備。

        產(chǎn)品參數(shù)

        項(xiàng)目

        產(chǎn)品型號(hào)

        BT6366 精密砂輪劃片機(jī)


        加工尺寸

        ≤?305mm/□260mm*260mm/定制

        運(yùn)動(dòng)方式

        雙軸對(duì)向式、全自動(dòng)

        X軸

        最大速度

        600mm/s

        直線度

        1.5μm全行程

        Y軸

        有效行程

        310mm

        定位精度

        2μm全行程

        分辨率

        0.1μm

         Z軸

        有效行程

        40mm

        單步步盡量

        0.0001mm

        最大刀輪直徑

        60mm或定制

        T軸

        轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍

        380

        主軸

        最大轉(zhuǎn)速

        60000rpm/min

        額定輸出功率

        直流(DC)1.5/1.8/2.4KW

         基礎(chǔ)規(guī)格

        電源

        三相AC220V/50Hz

        壓縮空氣

        0.5-0.6Mpa、Max420L/min

        切削水

        0.2-0.3Mpa、Max 12L/min

        排風(fēng)流量

        10m3/min

        尺寸(mm)

        1288X1618X1810

        重量

        2000kg


        樣品案例

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